光聲光譜檢測(cè)器是一種高性能的痕量（超痕量）氣體分析方法，具有靈敏度高、線性度強(qiáng)、采樣體積小等特點(diǎn)?？烧{(diào)諧半導(dǎo)體激光光源基于零背景噪聲測(cè)量提供高選擇特性和高測(cè)量精度。新型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)提供高靈敏度，確保在低壓下無(wú)損靈敏度測(cè)量，低壓下更窄的光譜提供了與大氣壓下氣體半導(dǎo)體激光器相比具有額外的選擇性特性。

　　光聲光譜檢測(cè)器專為實(shí)驗(yàn)室測(cè)量而設(shè)計(jì)，可定制不同類型的光源，如近紅外分布反饋激光器（DFB）、量子級(jí)聯(lián)激光器（QCL）、近-紅外光學(xué)參量振蕩器（IROPO）。它由一個(gè)MEMS增強(qiáng)的懸臂傳感器組成，其中包含一個(gè)激光可讀干涉儀，可以數(shù)字化測(cè)量懸臂的微動(dòng)可以使用動(dòng)態(tài)范圍放大器測(cè)量任何模擬電信號(hào)。懸臂梁壓力傳感器顯著提高了PAS光聲光譜的靈敏度。在相同的壓力振動(dòng)下，懸臂梁自由未連接端的位移是懸臂梁中部位移的兩倍。這是因?yàn)閼冶哿褐荒軓澢荒芾臁?/div>